第2255章

第2255章

但现在看来，他们还是有些小瞧这种高精度的光刻机了。

这让自信满满的他们，遭受了不小的打击。

项目刚进展不久，就遇到了第一个重大瓶颈，指挥部里的气氛有些凝重。

如果光源问题无法解决，后续的所有工作都无从谈起。

李阳静静地听着汇报，翻看着失败的实验数据和损伤元件的照片。

他没有指责，而是陷入了沉思。

良久，他抬起头，目光扫过在场的专家。

“我们是不是陷入了一个思维定式？”

他缓缓开口。

“为什么一定要完全沿着ASML走过的路再走一遍？”

“他们用LPP成功了，不代表这是唯一的路径，也不一定是最适合我们基础的路径。”

他走到白板前，画下了几个简单的示意图。

“我们最大的优势是什么？”

“是我们在大型尖端工程装置上积累的经验，尤其是对高温等离子体的理解和控制能力。”

“LPP路线本质也是制造和控制等离子体，来产生EUV光。”

“我们能不能跳出‘模仿’的圈子，利用我们在激光惯性约束聚变或者磁约束聚变中对于等离子体物理的深刻理解，探索一条不同的技术路径？”

“比如，有没有可能利用放电等离子体（DPP），或者结合我们正在研究的新型高功率激光器和特殊材料靶，走出一条我们自己的EUV光源技术路线？”

“哪怕初期效率低一些，但只要原理通，能突破，就是胜利！”

李阳目光扫视全场，带着一些激动，和些许的询问。

在场的人都是这个领域的专家，相较于他而言，显然更专业一些。

李阳目前也是在系统的帮助下，逐步完善这个领域的知识。

所以，他的这个想法，更多的是与他们进行探讨。

李阳的话像一道光，穿透了笼罩在团队头上的阴霾。

研究员们细细品味他说的话，许久之后，均是眼睛一亮。

“妙！妙啊！”

“虽然不知道是否可行，但李工这方法，也为我们提供了一个新的思路，我觉得可以尝试一下！”

“没错！我们不怕失败，怕的是失败后没有重头再来的勇气！”

看到他们重振旗鼓，李阳很是满意。

他看着团队成员，语气坚定。

“他们封锁的，不仅仅是一台台光刻机，更是试图锁死我们想象力的牢笼。”

“而我们‘破壁’的目的，就是要用我们自己的智慧和方式，把这个牢笼彻底打破！”

“既然是打破牢笼，那我们就不能循规蹈矩，而是要尝试各种各样的办法！”

整个实验小组，再次恢复了斗志。

所有研究员按照李阳提供的思路，重新开始写方案，做测试。

晚些时候。

李阳从实验室回到办公室。

打开灯，翻阅着有关同步辐射光源和放电等离子体的最新论文。

他相信，解决问题的钥匙，往往藏在主流视野之外的地方。

“时间紧，任务重。”

“常规的办法虽然也能实现光刻机的突破，但是留给我们的时间不多了。”

“要想在短时间内，突破光刻机，必须要走一些不常规的道路......”


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